感測器(Sensor)為智慧製造之基礎元件，運用感測器進行設備狀態監測、預防保養、參數調整最適化等，已是智慧製造不可或缺的關鍵。科技專案投入國產工業感測器研發與產業化，支援國內設備及製造業應用，掌握國內關鍵組件自主供應，擺脫國際牽制，為國內業者建立進軍智慧製造之灘頭堡。

半導體產業不僅是全球產業發展龍頭，也是我國的「護國神山」產業，隨著半導體持續推進，半導體檢測亦扮演關鍵角色。因應晶片資料傳輸量與效率要求日益倍增，多晶片先進封裝(Advanced Packaging)快速縮小微凸塊(Micro bump, μ-bump)接點尺寸與間距，檢測效率面臨極大挑戰。科技專案開發「微型陣列干涉光學感測技術」，突破半導體產業檢測範圍不足的限制，搶占檢測設備領先地位。

俄烏戰爭及通貨膨脹等國際政經環境變化，及現行的淨零排放趨勢影響下，推動了全球供應鏈的重組，製造業為了降低生產所產生的高碳排與採購風險，需同步整合產線的製造、庫存、運送與銷售等製程資訊，科技專案開發「韌性生產系統技術」，以人工智慧物聯網(Artificial Intelligence of Things, AIoT)連結產線整合數據，透過AI模型預測，可快速進行生產調度與設備時間最佳化，以避免廢料與設備能耗產生，有助企業實現節能減碳目標。

精密加工設備廣泛應用在金屬、機械、電子及半導體產業中，然而加工製程後的品質，取決於關鍵加工頭模組本身性能，因應國內產業長期面臨國外技術進口之現況，形成產業鏈之缺口。透過發展關鍵零組件之自主研發能力，並結合智慧化手段及新興產業潮流，以奠定國內關鍵模組國產化的基石，解決無頭產業議題，建構產業自主性供應鏈。

五軸工具機愈來愈多應用於複雜形狀零件製造，如航太、電動車和模具。源自機器的體積空間精度誤差所造成的加工缺陷，常被認為是機械幾何精度的問題而忽略，多依靠人工直覺來處理，然而量測與補償五軸工具機的體積空間精度既費時又費錢。透過新設備的校準和現有設備的加工精度改進，可提供幾何精度健康數據，這些數據對於確保加工良率和維護操作至關重要。

空氣與水的汙染為民眾關切之重要議題，目前防制瓶頸之一為對汙染物分布即時資訊掌握不足，科技專案開發「複合長效空品及水質物聯網感測器」，具備準確度與成本效益優勢，環境限制少易於安裝，於全臺鄉鎮、社區建置微型空品與水質即時監測站，提供即時資訊與追蹤汙染來源。

建構工具機數位雙生(Digital Twins)平台，提供使用者進行加工時間與品質預測，並以製程效率與節能調控進行加工效能與能耗最佳化，可產出總耗電量、個別工件碳履歷及生產履歷等，加速製造業數位轉型。因應未來綠色製造產業需求，發展金屬與複合材料之異質結構，具備高強度、質輕、低熱傳導特性，導入於工具機設備結構，可降低動件重量與熱傳導，達成降低能耗目的。